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机译:由电容耦合电源驱动的梳状驱动器
Chao-Min Chang; Shao-Yu Wang; Rongshun Chen; J. Andrew Yeh; Max T. Hou;
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机译:带垂直静电梳状驱动器的二维球形扫描执行器,用于执行和/或传感
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